Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
плазмохимическое осаждение из паровой фазы — Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении с использованием ВЧ энергии. — [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN PECVDplasma enhanced chemical vapor deposition … Справочник технического переводчика
плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — Термин плазменно химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском plasma enhanced chemical vapor deposition Синонимы плазмохимическое газофазное осаждение, осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой Аббревиатуры PECVD, ПХО, ПХГФО … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой (англ. plasma enhanced chemical vapor deposition) процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком… … Википедия
dépôt plasmachimique en phase vapeur — plazmocheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma chemical vapor deposition vok. plasmachemische Gasphasenabscheidung, f rus. плазмохимическое осаждение из паровой фазы, n pranc. dépôt plasmachimique… … Radioelektronikos terminų žodynas
plasma chemical vapor deposition — plazmocheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma chemical vapor deposition vok. plasmachemische Gasphasenabscheidung, f rus. плазмохимическое осаждение из паровой фазы, n pranc. dépôt plasmachimique… … Radioelektronikos terminų žodynas
plasmachemische Gasphasenabscheidung — plazmocheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma chemical vapor deposition vok. plasmachemische Gasphasenabscheidung, f rus. плазмохимическое осаждение из паровой фазы, n pranc. dépôt plasmachimique… … Radioelektronikos terminų žodynas
plazmocheminis garinis nusodinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma chemical vapor deposition vok. plasmachemische Gasphasenabscheidung, f rus. плазмохимическое осаждение из паровой фазы, n pranc. dépôt plasmachimique en phase vapeur, m … Radioelektronikos terminų žodynas
